潔凈廠房潔凈度,即是指潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi),空氣中懸浮粒子的空氣潔凈度。當(dāng)潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時,應(yīng)根據(jù)工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。
按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB50073-2013》標(biāo)準(zhǔn),潔凈度的整數(shù)等級應(yīng)按下表計算確定:
注:按不同的測量方法,各等級水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過3位。
各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計算:
以上公式中:Cn = 每立方米空間最大允許大于某粒徑顆粒物的數(shù)量濃度;
N = ISO潔凈度分級數(shù);
D = 顆粒物尺度,單位為微米;
0.1 = 常數(shù),單位為微米。
一般潔凈度可對應(yīng)潔凈室的狀態(tài):空態(tài)(已建成,但無設(shè)備和人員),靜態(tài)(設(shè)備已就位,但無人員),動態(tài)(設(shè)備和人員正常運作)。
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,目前在一些高科技產(chǎn)品(芯片、半導(dǎo)體、液晶、CPU等)的潔凈廠房中,不僅要求控制潔凈室(區(qū))內(nèi)的微粒,還要求控制各類微生物、化學(xué)污染物等方面,愈發(fā)嚴(yán)格。